CF盲法蘭-旋轉(zhuǎn)式是一種用于超高真空系統(tǒng)的關(guān)鍵部件，主要用于隔離和切斷系統(tǒng)，同時具有旋轉(zhuǎn)功能，便于安裝和拆卸。以下是關(guān)于CF盲法蘭-旋轉(zhuǎn)式的詳細(xì)信息：

定義

CF盲法蘭-旋轉(zhuǎn)式是一種全金屬密封的法蘭，通過內(nèi)側(cè)刀口擠壓無氧銅墊圈（或其他軟金屬）實現(xiàn)高密封性的真空密封。它采用不銹鋼材料制成，能夠承受高溫烘烤，適用于超高真空/極高真空環(huán)境。

特點

全金屬密封：通過刀口擠壓無氧銅墊圈，確保高密封性。

高溫耐受：能夠承受高溫烘烤，適用于高溫環(huán)境。

旋轉(zhuǎn)功能：便于安裝和拆卸，提高操作靈活性。

材料：通常采用不銹鋼304L或316LN材質(zhì)，具有良好的耐腐蝕性和機械性能。

應(yīng)用

CF盲法蘭-旋轉(zhuǎn)式廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域：

超高真空系統(tǒng)：用于隔離和切斷系統(tǒng)，確保真空環(huán)境的密封性。

半導(dǎo)體制造：在真空鍍膜、刻蝕等工藝設(shè)備中使用。

光伏產(chǎn)業(yè)：用于太陽能電池制造過程中的真空環(huán)境。

航空航天：用于太空模擬艙和真空測試設(shè)備。

科研實驗：在各類科學(xué)實驗中用于創(chuàng)建和維持真空環(huán)境。

規(guī)格參數(shù)

CF盲法蘭-旋轉(zhuǎn)式有多種規(guī)格，常見的規(guī)格包括：

CF1.33"/CF16：外徑34 mm，孔數(shù)6，Bolt Holes Diameter 64.37 mm。

CF2.12"/CF25：外徑53.8 mm，孔數(shù)8，Bolt Holes Diameter 46.73 mm。

CF2.75"/CF35：外徑69.3 mm，孔數(shù)12，Bolt Holes Diameter 58.72 mm。

CF3.38"/CF50：外徑85.3 mm，孔數(shù)16，Bolt Holes Diameter 72.39 mm。

質(zhì)量控制

CF盲法蘭-旋轉(zhuǎn)式在出廠前通常經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量控制，包括氦質(zhì)譜儀撿漏和超高真空標(biāo)準(zhǔn)的清洗、清潔，以確保其完全滿足超凈間和超高真空使用要求。

綜上所述，CF盲法蘭-旋轉(zhuǎn)式在超高真空系統(tǒng)中具有廣泛的應(yīng)用，其高密封性、耐高溫和旋轉(zhuǎn)功能使其成為真空系統(tǒng)中的重要組成部分。