源液瓶是用于儲存和傳輸高純度化學物質（如前驅體、反應源等）的容器，廣泛應用于半導體、納米技術、化學氣相沉積（CVD）等領域。以下是關于源液瓶的詳細信息：

定義與功能

源液瓶（也稱為源瓶）主要用于儲存和傳輸高純度的液態(tài)或氣態(tài)化學品，這些化學品在半導體制造、納米技術和其他高技術工藝中起到關鍵作用。源液瓶的設計和制造需要滿足高純度、高安全性和耐腐蝕性的要求。

結構與材料

源液瓶通常由高純度不銹鋼（如316L不銹鋼）制成，內(nèi)壁經(jīng)過精細拋光處理，以減少化學物質的吸附和污染。瓶體通常包括以下幾個部分：

瓶體：用于容納化學物質的主要部分。

進氣口和出氣口：用于連接外部管路，使化學物質能夠進出瓶體。

閥門：用于控制化學物質的流動，常見的閥門類型包括球閥和隔膜閥。

液位控制管：用于監(jiān)測和控制瓶內(nèi)液體的液位。

熱電偶管：用于檢測瓶內(nèi)化學物質的溫度。

設計要點

源液瓶的設計需要考慮以下幾個要點：

高純度：瓶體和內(nèi)部組件需采用高純度材料，以避免污染化學物質。

耐腐蝕性：選擇耐腐蝕的材料，以適應不同化學性質的工作介質。

安全性：設計需要確保瓶體在高壓或高溫環(huán)境下的密封性和安全性。

維護便捷性：設計易于拆卸和清洗的結構，便于日常維護和更換化學物質。

應用領域

源液瓶廣泛應用于以下領域：

半導體行業(yè)：用于儲存和傳輸用于化學氣相沉積（CVD）和原子層沉積（ALD）工藝的前驅體。

納米技術：用于儲存和傳輸高純度的納米材料。

化學研究：用于實驗室中高純度化學物質的儲存和傳輸。

綜上所述，源液瓶憑借其獨特的結構和優(yōu)異的性能，已成為許多高技術領域中不可或缺的重要組件。