超純特氣管路的基本介紹

超純特氣管路是用于輸送高純度、危險(xiǎn)氣體的關(guān)鍵基礎(chǔ)設(shè)施，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電、醫(yī)藥等高科技產(chǎn)業(yè)。其主要特點(diǎn)和構(gòu)造如下：

材料選擇：

管材：通常采用316L不銹鋼，經(jīng)過(guò)電解拋光（EP）處理，表面粗糙度低，耐腐蝕性強(qiáng)。316L EP管的表面粗糙度可控制在0.3μm以下，遠(yuǎn)低于經(jīng)過(guò)光輝燒結(jié)（BA）處理的0.8μm。

閥門：一般采用高純調(diào)壓閥、隔膜閥、高精密過(guò)濾器（＜0.003微米）和VCR接頭等。

結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)：

雙層管道：超高純特氣雙層管道內(nèi)外充純氬保護(hù)，采用全自動(dòng)軌道氬弧焊連接和柔性金屬墊片端面密封連接，確保潔凈度和密閉性。

管道加工：管口加工是關(guān)鍵點(diǎn)之一，管道切割、預(yù)制均在潔凈環(huán)境進(jìn)行，確保管道表面無(wú)有害痕跡和破損。

施工工藝：

潔凈環(huán)境：現(xiàn)場(chǎng)設(shè)置三段預(yù)制加工潔凈區(qū)域，建立臨時(shí)潔凈室，要求凈化等級(jí)不低于9級(jí)。

吹掃和焊接：采用高純氮?dú)獯祾撸讳P鋼彈簧填充雙層管夾層后用專用彎管裝置進(jìn)行彎管加工，結(jié)合氦氣檢漏工藝，確保管道焊接安裝質(zhì)量。

超純特氣管路的用途

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)：

用于輸送超高純硅烷（SiH4）、磷烷（PH3）、砷烷（AsH3）、乙硼烷（B2H6）、六氟化鎢（WF6）、高純氨（NH3）等特氣，這些氣體具有易燃、劇毒、強(qiáng)腐蝕等特性，是精密半導(dǎo)體電子元器件制造的必需品。

光電產(chǎn)業(yè)：

在太陽(yáng)能薄膜工藝中，使用高純度氣體以避免雜質(zhì)對(duì)產(chǎn)品造成污染，確保光電產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。

醫(yī)藥產(chǎn)業(yè)：

用于輸送高純度氣體，確保醫(yī)藥生產(chǎn)過(guò)程中的氣體純度和安全性。

實(shí)驗(yàn)室：

高純度、高潔凈的氣體通過(guò)管路輸送到設(shè)備用點(diǎn)（POU），滿足實(shí)驗(yàn)室對(duì)氣體質(zhì)量的要求。

其他高科技產(chǎn)業(yè)：

廣泛應(yīng)用于需要高純度氣體輸送的各類高科技產(chǎn)業(yè)，確保工藝氣體的純度、干燥度和潔凈度。

綜上所述，超純特氣管路在高科技產(chǎn)業(yè)的氣體輸送中起著至關(guān)重要的作用，其設(shè)計(jì)和施工需要嚴(yán)格遵循高標(biāo)準(zhǔn)，以確保氣體的高純度和系統(tǒng)的安全性。